Tez detayları

Design and development of fiber optic MEMS microphonemeasurement system = Fiber optik MEMS mikrofon ölçüm sistemi tasarımı vegeliştirilmesi

Yazarlar:

Karaca, Ekin Muharrem

Yayıncı:

Orta Doğu Teknik Üniversitesi

Ana Başlıklar:

Mühendislik ve uygulamalı operasyonlar

Belge Tipi:

Tezler

Program Tipi:

Yüksek Lisans

Yayın Tarihi:

12/2018

Belge Dili:

İngilizce

Document ID (Org No.):

2000303890

Özet

In this thesis, fiber optic MEMS microphone measurement system is designed and demonstrated. The displacement of the sensing element of the fiber optic microphone, the membrane, together with the optical components are 3-D modeled and simulated by means of ray tracing methods. The parameters of the optical system under different measurement conditions are optimized according to the simulation results. Based on the simulation results, the measurement system setup is designed, constructed and functionalized. The optical components of the system are chosen such that the overall system is compatible to high quality detection of the displacement of the membrane. The simulation results and experimental data are demonstrated to validate the operation of the measurement system. The system is demonstrated with optical components and the membrane, and characteristics of the fiber optic microphone areobtained. The results and observations related to the overall system are presented.

Bu tez çalışmasında, fiber optik MEMS mikrofon ölçüm sistemi tasarlanmış ve gösterilmiştir. Zarın, fiber optik mikrofonun algılama elemanının, optik bileşenlerle birlikte yer değiştirmesi, 3-B modellenmiş ve ışın izleme yöntemleri ile benzetim yapılmıştır. Optik sistemin farklı ölçüm koşulları altındaki parametreleri benzetimsonuçlarına göre optimize edilmiştir. Benzetim sonuçlarına dayanarak, ölçüm sistemi kurulumu tasarlanmış, yapılandırılmış ve işlevselleştirilmiştir. Sistemin optik bileşenleri, genel sistemin, zarın yer değiştirmesinin yüksek kalitede saptanması ile uyumlu olacak şekilde seçilmiştir. Benzetim sonuçları ve deneysel verilerin, ölçümsisteminin çalışmasını doğruladığı gösterilmiştir. Sistem optik bileşenler ve zar ile kurulmuş olup fiber optik mikrofonun karakteristik özellikleri elde edilmiştir. Sistemin tümü ile ilgili sonuçlar ve gözlemler sunulmuştur.

Tez detayları

Design and development of fiber optic MEMS microphonemeasurement system = Fiber optik MEMS mikrofon ölçüm sistemi tasarımı vegeliştirilmesi

Yazarlar: Karaca, Ekin Muharrem

Yayıncı: Orta Doğu Teknik Üniversitesi

Ana Başlıklar: Mühendislik ve uygulamalı operasyonlar

Belge Tipi: Tezler

Program Tipi: Yüksek Lisans

Yayın Tarihi: 12/2018

Belge Dili: İngilizce

Document ID (Org No.): 2000303890