11 ABSTRACT Master of Science Thesis PRODUCTION OF COMPOUND ZnS SEMICONDUCTOR FILMS BY SPRAY PYROLYSIS METHOD EVREN ARABACI Anadolu University Graduate School of Natural and Applied Sciences Physics Program Supervisor: Prof.Dr. Muhsin ZOR 2001, 80 pages In this work, ZnS semiconducting material belonging to the II- VI group have been produced by means of spray pyrolysis method at 275°C, 300°C, 335°C and 425°C substrate temperatures. From the x-ray diffraction of pattern it is seen that films produced at 425°C are polycrystalline in structure whereas the ones produced at lower temperatures are amorphous. The materials observed to have a direct band gap, which are varied between 3,29eV-3,99eV due to the substrate temperatures. All the films exhibited n- type conduction characteristics. The SEM micrographs of the films have shown that layered-type stackings are dominant with well-defined boundaries. The adherence of the films produced at substrate temperatures below 425°C observed to be rather weak. Keywords: II-VI Compound Semiconductors, Spray-Pyrolysis Method, Optical Absorption, X-Ray Diffraction, Scanning Electron Microscopy (SEM).

ÖZET Yüksek Lisans Tezi ZnS YARIİLETKEN BİLEŞİĞİNİN SPRAY PYROLYSIS YÖNTEMİ İLE ELDE EDİLMESİ EVREN ARABACI Anadolu Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fizik Anabilim Dalı Danışman: Prof. Dr. Muhsin ZOR 2001, 80 sayfa Bu çalışmada II- VI grup ikili bileşiklerinden olan ZnS yarıiletken filmin elde edilme özellikleri incelenmiştir.ZnS yarıiletken filmi spray- pyrolysis yöntemi ile 275°C, 300°C, 335°C ve 425°C taban sıcaklıklarında elde edilmiştir. Belirtilen taban sıcaklığı için elde edilen filmlerin x-ışmı kırınım desenleri incelenerek ZnS yapısındaki filmin 425°C 'den daha düşük elde edilme sıcaklıklarında amorf yapıda ve bu değerde ise polikristal yapıya sahip olduğu belirlenmiştir. ZnS yarıiletken filminin optik özelliklerinin incelenmesi ile direkt band geçişine sahip olduğu ve elde edilme sıcaklığına göre 3,29eV-3,99eV arasında yasak enerji aralığının olduğu saptanmıştır. Elde edilen bütün filmlerin n-tipi iletkenlik gösterdiği belirlenmiştir.Taramalı elektron mikroskobu (SEM) görüntüleri yardımıyla oluşturulan filmlerin topografik yapısı incelenmiştir. 425°C 'den daha düşük taban sıcaklıklarında yüzeye iyi tutunamadıkları belirlenmiştir. Anahtar Kelimeler: II- VI Grup Bileşik Yarıiletkenler, Spray-Pyrolysis, Optik Absorpsiyon, X-Işını Kırınımı, Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM).