Being the key component of the semiconductor industry, silicon in nanowire form has gainedincreased attention. In this thesis, vertical arrays of silicon nanowires (Si NWs) have beenfabricated with metal assisted etching method (MAE). MAE method is a simple, solutionbased and low temperature process. In this method, fabricated nanowires inherit the startingwafer characteristics, such as doping type, density and crystal orientation.In the first part, fabricated NWs in network form have been demonstrated as the active layerin metal-semiconductor-metal photodetectors. Devices showed partial transparency and fullyreversible switching behavior. Moreover, fast dynamic response has been obtained with 0.43milliseconds for the rise time and 0.58 milliseconds for the fall time. Flexible PDs werefabricated on polyethylene-terephtalate substrates and operational during bending up to aradius of 1 cm.In the second part, surface plasmon resonance properties of the silver (Ag) nanoparticledecorated Si NWs have been investigated. Si NWs were fabricated through one-step andtwo-step MAE method. Two-step MAE method involved the use of hydrogen peroxide. Agnanoparticles were decorated onto Si NWs through simple evaporation and annealingprocesses. The hydrogen peroxide in MAE method was found to degenerate the surface ofnanowires and created oxygen defects. Defects enhanced infrared absorption at higherfrequencies and led to emission of light by radiative recombination. Almost 50-foldenhanced localized-surface-plasmon-resonance (LSPR) was obtained. It was attributed to thechange in the dielectric constant of effective medium. LSPR wavelength could be tuned bychanging Ag particle size and NW length.

Yarıiletken endüstrisinin en önemli yapıtaşı olan silisyum nanotel formunda da sonzamanlarda yoğun olarak araştırma konusu olmuşlardır. Bu tez çalışmasında, dik olarakhizalanmış silisyum nanoteller (Si NWs) metal yardımlı dağlama (MYD) yöntemi ileüretilmişlerdir. Bu metod basit bir yöntem olup çözelti tabanlı ve düşük sıcaklık prosesiolması sebebiyle oldukça yaygınlaşmıştır. Bu metod ile üretilen nanoteller başlangış substratıile aynı aşılama tipi ve yoğunluğu gibi temel özelliklere sahiptir.Bu tez çalışmasının ilk kısmında, üretilen nanoteller ağ halinde metal-yarıiletken-metal ışıkdetektörlerinin aktif kısmında kullanılmışlardır. Üretilen detektörler kısmi transparanlık vetekrar edilebilir açılıp kapanma özelliği göstermişlerdir. Buna ek olarak, detektörlerin açmave kapanma hızları 0.43 milisaniye ve 0.58 milisaniye olarak belirlenmiştir. Esnekdetektörler ise kullanılan substratın PET ile değiştirilmesi sonucu üretilmişlerdir. Üretilenesnek detektörler 1 santimetrelik yarıçapa kadar bükülme testine tabi tutulmuş olup bükülmesırasında da çalışmaya devam etmişlerdir.Tez çalışmasının ikinci kısmında ise gümüş (Ag) nanoparçacıklar ile dekore edilmiş dikhizalanmış silisyum nanoteller yüzey plazmon rezonansı özellikleri açısından incelenmiştir.Silisyum nanoteller tek adım ve iki adım MYD metodu ile üretilmişlerdir. İki adım MYDmetodu hidrojen peroksit kullanımını içermektedir. Gümüş nanoparçacıklar ise buharlaştırmave tavlama yöntemi ile nanoteller üzerinde oluşturulmuşlardır. İki adım metodu nanotellerinyüzeyini deforme ederek oksijen kaynaklı kusurlar yaratmışlardır. Bu kusurlar yüksekfrekanstaki kızılötesi ışıkları absorbe etmekte olup ışınımlı rekombinasyon ile ışıkyayabilmektedirler. Yaklaşık 50 kata kadar artmış lokalize yüzey plazmon rezonansı (LYPR)elde edilmiştir. Bu artış nanotellerin yüzeyinde bulunan oksijen kaynaklı kusurların ortamındielektrik katsayını değiştirmesi ile ilintilendirilmiştir. Rezonans dalgaboyu gümüşnanoparçacıkların büyüklüğü ve nanotellerin uzunluğu ile değiştirilebilmektedir.