In this study, In2O3 nanostructures were synthesized successfully on n-type Si and quartz (SiO2) substrates using vapor-liquid-solid (VLS) technique. We used In2O3 powder as the source material, Au as the catalyst, Ar as the carrier gas. We also used active carbon as the catalytic reactant in some studies. In this technique, growth characteristics and properties of nanostructures depend on diffusion, carrying of materials on substrates, crystal surfaces (facet), pressure and temperature difference in system, reaction kinematic and chemical medium, thermodynamic behavior of catalyst, geometry and design of growth medium, mixture of materials. X-Ray Diffraction (XRD), Scanning Electron Microscopy (SEM), and Photoluminescence (PL) techniques were used to make comparative studies of nanostructures. The composition of the nanostructures was determined by Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (EDX). The obtained experimental results were compared with other experimental results and theoretical values and it was found that there is a good agreement.Keywords: In2O3, Vapor-Liquid-Solid (VLS) Technique, Au Catalyst, Nanostructure.

Bu çalışmada, In2O3 nanoyapılar Buhar-Sıvı-Katı (VLS) tekniği ile n-tipi Si ve kuartz (SiO2) altlıklar üzerine başarılı bir şekilde sentezlenmiştir. Kaynak materyal olarak In2O3 toz, katalizör olarak Au, taşıyıcı gaz olarak Ar ve bazı çalışmalar için reaksiyon katalizleyici olarak aktif karbon kullanılmıştır. Bu teknikte nanoyapıların büyüme karakteristikleri ve özellikleri; difüzyona, materyalin ortama taşınmasına, kristal yüzeyine, sistemdeki basınç ve sıcaklık farklılıklarına, kimyasal ortama ve reaksiyon kinematiğine, katalizörün termodinamik davranışına, büyütme ortamının geometrisine ve dizaynına, gerekli materyallerin karışımına bağlı olmaktadır. Bu nedenle elde edilen nanoyapıların karşılaştırılmalı olarak incelenmesi amacıyla X-ışını Kırınımı (XRD), Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) ve Fotolüminesans (PL) kullanılmıştır. Bu nanoyapıların kompozisyonlarının belirlenmesi amacıyla da Enerji Dağılımlı X-Işını Spektrometresi (EDX) kullanılmıştır. Sonuç olarak elde edilen deneysel bulgular, diğer deneysel bulgu ve teorik verilerle karşılaştırıldığında iyi bir uyum içerisinde olduğu belirlenmiştir.Anahtar kelimeler: In2O3, Buhar-Sıvı-Katı (VLS) Tekniği, Au Katalizör, Nanoyapılar.