In this Master of Sciences Thesis six samples of thin films which consists of two undoped copper (II) oxide (CuO) films, an undoped copper (I) oxide (Cu2O) film, a tin (Sn) doped copper (II) oxide film, a zinc (Zn) doped copper (II) oxide film and a cadmium (Cd) doped copper (II) oxide film are produced. Doped-undoped copper (II) oxide thin films are produced by using the Chemical Bath Deposition (CBD) technique -a low-priced technique- and undoped copper (I) oxide thin film is produced by the Physical Vapor Deposition (PVD) technique ?a high sensitive technique-. Humidity and toluene vapor sensitivity of these films are investigated. To investigate the gas sensitivities, the films are produced into the Inter-Digital Transducers (IDT). Inter-Digital Transducers are produced by Spin Coating and Chemical Etching methods. Investigation of gas sensitivities of the films are done in various ambient temperatures and in various vapor concentrations. In these conditions the graph of Current (A) vs time (s) (I-t) is recorded while the voltage is constant. To investigate the particle sizes of the films the Scanning Electron Microscopy (SEM) images are taken and to investigate the material kinds that the films contain the Energy Dispersive X-Ray (EDX) analysis are done.

Bu Yüksek Lisans Tez çalışmasında iki adet katkısız bakır (II) oksit (CuO), bir adet katkısız bakır (I) oksit (Cu2O), bir adet kalay (Sn) katkılı bakır (II) oksit, bir adet çinko (Zn) katkılı bakır (II) oksit ve bir adet kadmiyum (Cd) katkılı bakır (II) oksit olmak üzere toplam altı adet ince film üretilmiştir. Katkılı-katkısız bakır (II) oksit ince filmler uygulaması kolay ve maliyeti ucuz olan Kimyasal Banyo Depolama tekniği (CBD) ile bakır (I) oksit ince film ise Fiziksel Buhar Biriktirme (PVD) tekniği ile hazırlanmıştır. Üretilen bu filmlerin su ve toluen buharlarını algılamaları test edilmiştir. Gaz ölçümlerinin yapılabilmesi için filmler İnter-Dijital Dönüştürücü (IDT) yapıları üzerine üretilmiştir. İnter-Dijital Dönüştürücüler Spin Kaplama ve Kimyasal Aşındırma yöntemlerinin beraber kullanımı ile hazırlanmıştır. Gaz algılama ölçümleri hem ortam sıcaklığına hem de gaz konsantrasyonuna bağlı olarak sabit voltaj altında akım-zaman grafikleri çizilerek alınmıştır. Üretilen filmlerin yapılarında bulunan parçacıkların boyutlarının belirlenmesi için Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) görüntüleri alınmış ve içerdikleri malzeme türünün belirlenmesi için de EDX (Enerji Ayrımlı X-Işını) analizleri yapılmıştır.