Polyethylene Oxide (PEO) granules with mass of 1500 g/mol were deposited as thin film at various plasma power and different thicknesses on silicon, gold electrode substrates and between aluminum electrodes by plasma assisted thermal evaporation technique. In order to investigate and characterize these PEO thin films deposited on various substrates, XPS (X-Ray Photoelectron Spectroscopy) was used for surface characterization, FT-IR (Fourier Transform Infrared Spectroscopy) for chemical characterization, DSC (Differential Scanning Calorimetry) to determine melting, crystallization and glass transition temperatures, dielectric spectroscopy to determine dielectric properties respectively. It was observed that crosslinking density changed depending on plasma discharge power and the change of crosslinking density causes differences in dielectric and structural properties of PEO. The variation of the dielectric properties depending on film thickness shows the effect of dead layer which is one of the remarkable properties of plasma polymers. This effect is observed because of the good retention of plasma polymers on any substrate surfaces.

Moleküler ağırlığı 1500 g/mol olan Polietilen Oksit (PEO) granülleri kullanılarak Plazma destekli termal buharlaştırma yoluyla farklı plazma uyarım güçlerinde ve farklı kalınlıklarda plazma polimer ince filmler alüminyum elektrotlar arasına, altın elektrot üzerine ve silikon taşıyıcı üzerine kaplandı. Farklı taşıyıcılar üzerine kaplanan plazma polimer ince filmlerin yüzey kompozisyonun incelenebilmesi için X-Ray Photoelectron Spectroscopy (XPS), kimyasal kompozisyonunun incelenebilmesi için Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FT-IR), erime, kristalleşme ve camsı geçiş sıcaklıklarının incelenmesi için Differential Scanning Calorimetry (DSC) ve dielektrik özelliklerinin incelenmesi amacıyla dielektrik spektroskopi teknikleri kullanıldı. Plazma uyarım gücüne ve film kalınlığına bağlı olarak yapılan incelemelerin sonucunda, çapraz bağ yoğunluğunun plazma uyarım gücüne bağlı olarak değişim gösterdiği ve bu değişimin dielektrik ve yapısal özelliklerin değişimine neden olduğu görüldü. Farklı film kalınlıklarında özellikle farklı dielektrik özelliklerin gözlenmesi ile plazma polimer yapıların önemli özelliklerinden biri olan her tür taşıyıcıya iyi tutunabilmesinin ölü tabaka etkisi yaparak dielektrik özelliklerde ve yapısal özelliklerde değişime neden olabileceği görüldü.