MEMS Malzeme Karakterizasyonu için Bütünleşik bir Elektrostatik Mikro Bükülme Test Yapısı Tasarımı ve Gerçekleştirilmesi

Ender Yıldırım; Tayfun Akın; M. A. Sahir Arıkan

Makale detayları

MEMS Malzeme Karakterizasyonu için Bütünleşik bir Elektrostatik Mikro Bükülme Test Yapısı Tasarımı ve Gerçekleştirilmesi

Yazarlar:

Ender Yıldırım | Tayfun Akın | M. A. Sahir Arıkan

Yayıncı:

Cankaya University

Ana Başlıklar:

Uygulamalı fizik

Dergi:

Cankaya University Journal of Science and Engineering 2012 Vol.9 Issue 1

Belge Tipi:

Makale

Yayın Tarihi:

1/2012

Belge Dili:

Türkçe

Document ID (Org No.):

2000903456

Sıklık:

İki Yıllık

eISSN:

2564-7954

Özet:

 


Because of the fabrication techniques, mechanical properties of the materials
used in micro electromechanical systems should be determined by utilizing micro-scale test
structures. In this study, a micro bending test structure, whose actuator, sample, and readout
scale are integrally fabricated on a single chip is presented. Integrated fabrication of all
components eliminates the alignment problem observed in similar systems. The structure
relies on the principle of bending a double-clamped beam from its center by using an
electrostatic comb drive. Deflection amount is determined by using image processing
techniques on the read-out scale. Designed structures are fabricated by using silicon-oninsulator
wafers. As a result of the tests, elastic modulus of silicon is determined as 136
GPa in accordance with the literature. 

.

Makale detayları

MEMS Malzeme Karakterizasyonu için Bütünleşik bir Elektrostatik Mikro Bükülme Test Yapısı Tasarımı ve Gerçekleştirilmesi

Yazarlar: Ender Yıldırım | Tayfun Akın | M. A. Sahir Arıkan

Yayıncı: Cankaya University

Ana Başlıklar: Uygulamalı fizik

Dergi: Cankaya University Journal of Science and Engineering 2012 Vol.9 Issue 1

Belge Tipi: Makale

Yayın Tarihi: 1/2012

Belge Dili: Türkçe

Document ID (Org No.): 2000903456

Sıklık: İki Yıllık

eISSN: 2564-7954

Sayı

Yazarlar:

Ender Yıldırım | Tayfun Akın | M. A. Sahir Arıkan

Yayıncı:

Cankaya University

Ana Başlıklar:

Uygulamalı fizik

Dergi:

Cankaya University Journal of Science and Engineering 2012 Vol.9 Issue 1

Belge Tipi:

Makale

Yayın Tarihi:

1/2012

Belge Dili:

Türkçe

Document ID (Org No.):

2000903456

Sıklık:

İki Yıllık

eISSN:

2564-7954