TERMİYONİK VAKUM ARK İLE ÜRETİLEN InGaAsN İNCE FİLMLERİN BAZI FİZİKSEL ÖZELLİKLERİ

Şadan KORKMAZ

Makale detayları

TERMİYONİK VAKUM ARK İLE ÜRETİLEN InGaAsN İNCE FİLMLERİN BAZI FİZİKSEL ÖZELLİKLERİ

Yazarlar:

Şadan KORKMAZ

Yayıncı:

Bursa Uludağ University

Ana Başlıklar:

Uygulamalı fizik

Dergi:

Uludağ University Journal of The Faculty of Engineering 2017 Vol.22 Issue 2, pp.121-128

Belge Tipi:

Makale

Yayın Tarihi:

8/2017

Belge Dili:

Türkçe

Document ID (Org No.):

2000630030

Sıklık:

Üç Yıllık

eISSN:

2148-4155

pISSN:

2148-4147

Özet:

 




In this paper,
InGaAsN thin films were deposited by Thermionic Vacuum Arc (TVA) for the first
time. Deposition parameters were determined. These films were grown on
different type substrate material. These are glass, Si and poly Polyethylene
terephthalate (PET) materials. Crystal structures of the produced
samples were investigated by XRD analysis of the produced samples. Atomic
concentrations of the deposited samples were investigated by EDX.  The surface properties of the films were
imaged by atomic force microscopy. Band gap values were calculated by optical
method from the absorbance spectra of the UV-Vis spectrophotometer. According
to obtained results, different atomic ratios were detected. 

.

 




Bu çalışmada InGaAsN ince filmler ilk defa farklı
bir teknik olan Termiyonik Vakum Ark (TVA) tekniği ile üretilmiştir. InGaAsN
ince filmler üretilirken TVA üretim parametreleri belirlenmiştir. İnce filmler
üç farklı alt taş üzerine gerçekleştirilmiştir. Bunlar cam, Si ve Polietilen
tereftalat (PET) alt taş malzemedir. 
Üretilen ince filmlerin XRD analizleri ile kristal yapıları
aydınlatılmaya çalışılmıştır. Yüzey bileşenleri için EDX analizi
kullanılmıştır. Filmlerin yüzey oluşumları atomik kuvvet mikroskobu ile
görüntülendi. UV-Vis spektrofotometresi ile elde edilen soğurma değerlerinden
ise yapıların yasak enerji aralıkları değerleri incelenmiştir.  Sonuçlara göre, farklı alt taşlar üzerine
farklı atomik bileşimler elde edilmiştir. 

.

Makale detayları

TERMİYONİK VAKUM ARK İLE ÜRETİLEN InGaAsN İNCE FİLMLERİN BAZI FİZİKSEL ÖZELLİKLERİ

Yazarlar: Şadan KORKMAZ

Yayıncı: Bursa Uludağ University

Ana Başlıklar: Uygulamalı fizik

Dergi: Uludağ University Journal of The Faculty of Engineering 2017 Vol.22 Issue 2, pp.121-128

Belge Tipi: Makale

Yayın Tarihi: 8/2017

Belge Dili: Türkçe

Document ID (Org No.): 2000630030

Sıklık: Üç Yıllık

eISSN: 2148-4155

pISSN: 2148-4147

Sayı

Yazarlar:

Şadan KORKMAZ

Yayıncı:

Bursa Uludağ University

Ana Başlıklar:

Uygulamalı fizik

Dergi:

Uludağ University Journal of The Faculty of Engineering 2017 Vol.22 Issue 2, pp.121-128

Belge Tipi:

Makale

Yayın Tarihi:

8/2017

Belge Dili:

Türkçe

Document ID (Org No.):

2000630030

Sıklık:

Üç Yıllık

eISSN:

2148-4155

pISSN:

2148-4147