Gold/palladium (Au/Pd) Bimetallic Thin Film Deposition by Radio Frequency Magnetron Sputtering Technique

Volkan ŞENAY

doi:https://doi.org/10.21597/jist.513363

Makale detayları

Gold/palladium (Au/Pd) Bimetallic Thin Film Deposition by Radio Frequency Magnetron Sputtering Technique

Yazarlar:

Volkan ŞENAY

Yayıncı:

Igdir University

Ana Başlıklar:

Fizik

Dergi:

Journal of the Institute of Science and Technology 2019 Vol.9 Issue 3, pp.1377-1384

Belge Tipi:

Makale

Yayın Tarihi:

8/2019

Belge Dili:

İngilizce

Document ID (Org No.):

2000464901

Sıklık:

Üç Aylık

eISSN:

2536-4618

DOI:

https://doi.org/10.21597/jist.513363

Özet:

 


In this study, two gold/palladium (Au/Pd) thin films having 20 nm and 80 nm thickness values were simultaneously deposited on glass substrates by adjusting target-substrate distance via radio frequency (RF) magnetron sputtering technique. The optical and surface properties of the produced thin films were investigated by using UV-VIS spectrophotometer, interferometer, tensiometer and atomic force microscope. The effects of film thickness on the investigated properties of the thin films were reported.

.

 


Bu çalışmada, 20 nm ve 80 nm kalınlığa sahip iki adet altın/paladyum (Au/Pd) ince film, eş zamanlı olarak radyo frekans (RF) magnetron sıçratma tekniği ile hedef-alttaş mesafesinin ayarlanmasıyla cam alttaşlar üzerinde biriktirilmiştir. Üretilen ince filmlerin optik ve yüzey özellikleri UV-VIS spektrofotometre, interferometre, tansiyometre ve atomik kuvvet mikroskobu kullanılarak incelenmiştir. Film kalınlığının, ince filmlerin incelenen özellikleri üzerindeki etkileri rapor edilmektedir.

.

Makale detayları

Gold/palladium (Au/Pd) Bimetallic Thin Film Deposition by Radio Frequency Magnetron Sputtering Technique

Yazarlar: Volkan ŞENAY

Yayıncı: Igdir University

Ana Başlıklar: Fizik

Dergi: Journal of the Institute of Science and Technology 2019 Vol.9 Issue 3, pp.1377-1384

Belge Tipi: Makale

Yayın Tarihi: 8/2019

Belge Dili: İngilizce

Document ID (Org No.): 2000464901

Sıklık: Üç Aylık

eISSN: 2536-4618

DOI: https://doi.org/10.21597/jist.513363

Sayı

Yazarlar:

Volkan ŞENAY

Yayıncı:

Igdir University

Ana Başlıklar:

Fizik

Dergi:

Journal of the Institute of Science and Technology 2019 Vol.9 Issue 3, pp.1377-1384

Belge Tipi:

Makale

Yayın Tarihi:

8/2019

Belge Dili:

İngilizce

Document ID (Org No.):

2000464901

Sıklık:

Üç Aylık

eISSN:

2536-4618

DOI:

https://doi.org/10.21597/jist.513363