CVD VE PECVD TEKNİĞİ KULLANILARAK BAKIR FOLYOLAR ÜZERİNDE GRAFEN NANOYAPILARIN ELDE EDİLMESİ VE KARAKTERİZASYONU

Özkan BAYRAM; Erdal İĞMAN; Önder ŞİMŞEK

Makale detayları

CVD VE PECVD TEKNİĞİ KULLANILARAK BAKIR FOLYOLAR ÜZERİNDE GRAFEN NANOYAPILARIN ELDE EDİLMESİ VE KARAKTERİZASYONU

Yazarlar:

Özkan BAYRAM | Erdal İĞMAN | Önder ŞİMŞEK

Yayıncı:

Nigde Omer Halisdemir University

Ana Başlıklar:

İmalat

Dergi:

Nigde Omer Halisdemir University Journal of Engineering Sciences 2019 Vol.8 Issue 2, pp.1126-1134

Belge Tipi:

Makale

Yayın Tarihi:

7/2019

Belge Dili:

Türkçe

Document ID (Org No.):

2000763350

Sıklık:

Üç Aylık

eISSN:

2564-6605

Anahtar kelimeler:

Özet:

 



 

   In this study, it was aimed
to synthesize graphene thin films on copper foils using CH4 gas.
Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) and chemical vapor deposition
(CVD) method were used to obtain thin films. Copper foils were placed in quartz
reactor chamber after standard pre-cleaning. Then, the base pressure of the
vacuum chamber was lowered to 5-10 mTorr. The foils was annealed with hydrogen
gas and CH4 gas was sent to the chamber by means of gas flow
controller. In PECVD system;  RF power
supply (13.56 MHz) was activated by the control unit and the plasma was be
formed with generated energy. The deposition pressure was set to 100 mTorr,  substrate temperature was 600 ˚C,
RF power was 50 W and deposition time was 20 minutes. In the CVD technique, the
RF power was eliminated and the deposition temperature was determined as 1000 ˚C.
Raman, SEM and TEM analysis were performed for the characterization of the
obtained graphene nanostructures. According to the results of Raman, the thin
film obtained by the CVD method confirmed the single-layer graphene. However,
single-layer graphene could not be obtained by PECVD technique.








 

.

 


   Bu
çalışmada, CH4 gazı kullanılarak bakır folyolar üzerinde grafen ince
filmlerin sentezlenmesi amaçlanmıştır. İnce filmlerin elde edilebilmesi için
plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD) ve kimyasal buhar biriktirme
(CVD) yöntemi kullanılmıştır. Bakır alt-taşlar, standart ön temizlik
yapıldıktan sonra kuvars camdan yapılmış reaktöre yerleştirilmiştir. Vakum
odasının taban basıncı 5-10 mTorr’a düşürüldükten ve hidrojen gazı ile tavlama
işlemi yapıldıktan sonra, CH4 gazı ortama gaz akış kontrol ünitesi yardımıyla
gönderilmiştir. PECVD sisteminde; RF güç kaynağı (13,56 MHz), kontrol ünitesi
vasıtasıyla aktif hale getirilerek, üretilen enerji ortama gönderilmiştir. İşlem
basıncı 100 mTorr, sıcaklık 600 ˚C, RF gücü 50 W ve kaplama süresi ise
20 dakika olarak ayarlanmıştır. CVD tekniğinde ise, RF gücü ortadan kaldırılmış
ve büyütme sıcaklığı 1000 ˚C olarak belirlenmiştir. Elde edilen Grafen
nanoyapıların karakterizasyonu için Raman, SEM ve TEM analizleri
gerçekleştirilmiştir. Raman sonuçlarına göre, CVD yöntemiyle elde edilen
yapılar, tek tabaka grafen yapısını doğrulamıştır. Bununla beraber PECVD
tekniği ile tek tabaka grafen nanoyapılardan ziyade çok tabakalı yapı elde
edildi.


.

Makale detayları

CVD VE PECVD TEKNİĞİ KULLANILARAK BAKIR FOLYOLAR ÜZERİNDE GRAFEN NANOYAPILARIN ELDE EDİLMESİ VE KARAKTERİZASYONU

Yazarlar:

Özkan BAYRAM | Erdal İĞMAN | Önder ŞİMŞEK

Yayıncı:

Nigde Omer Halisdemir University

Ana Başlıklar:

İmalat

Dergi:

Nigde Omer Halisdemir University Journal of Engineering Sciences 2019 Vol.8 Issue 2, pp.1126-1134

Belge Tipi:

Makale

Yayın Tarihi:

7/2019

Belge Dili:

Türkçe

Document ID (Org No.):

2000763350

Sıklık:

Üç Aylık

eISSN:

2564-6605

PECVD

CVD

Grafen

İnce Film

Sayı

Makale detayları

CVD VE PECVD TEKNİĞİ KULLANILARAK BAKIR FOLYOLAR ÜZERİNDE GRAFEN NANOYAPILARIN ELDE EDİLMESİ VE KARAKTERİZASYONU

Yazarlar: Özkan BAYRAM | Erdal İĞMAN | Önder ŞİMŞEK

Yayıncı: Nigde Omer Halisdemir University

Ana Başlıklar: İmalat

Dergi: Nigde Omer Halisdemir University Journal of Engineering Sciences 2019 Vol.8 Issue 2, pp.1126-1134

Belge Tipi: Makale

Yayın Tarihi: 7/2019

Belge Dili: Türkçe

Document ID (Org No.): 2000763350

Sıklık: Üç Aylık

eISSN: 2564-6605

PECVD

CVD

Grafen

İnce Film

Sayı

Yazarlar:

Özkan BAYRAM | Erdal İĞMAN | Önder ŞİMŞEK

Yayıncı:

Nigde Omer Halisdemir University

Ana Başlıklar:

İmalat

Dergi:

Nigde Omer Halisdemir University Journal of Engineering Sciences 2019 Vol.8 Issue 2, pp.1126-1134

Belge Tipi:

Makale

Yayın Tarihi:

7/2019

Belge Dili:

Türkçe

Document ID (Org No.):

2000763350

Sıklık:

Üç Aylık

eISSN:

2564-6605